28纳米芯片国内有几家？
热处理，北方华创、屹唐半导体已经能够生产28nm以上制程的热处理设备；刻蚀，北方华创、中微公司、屹唐半导体，他们的刻蚀机已经普遍运用在28nm-3nm的生产线当中；
离子注入，北京中科信的12英寸离子注入机icon，已经进入到了中芯国际的生产线，工艺覆盖到了28nm，万业企业旗下的凯世通的离子注入机已经突破3nm，工艺主要参数优于国外同类产品；
薄膜沉积，北方华创、沈阳拓荆的设备已经应用在中芯国际28nm芯片的生产过程当中；
化学机械抛光，华海清科28nm制程抛光机已经实现了成熟制程的产业化应用，14nm的制程工艺已经处于实验阶段；
清洗，北方华创、盛美半导体、至纯科技、芯源微的清洗设备已经实现了国产替代，其中，盛美半导体的设备是国内唯一进入14nm生产线的清洗设备厂商。
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